基于掃描電子顯微鏡的集成電路顯微拍攝系統(tǒng)

摘要：提出使用掃描電子顯微鏡來獲取集成電路芯片的形貌圖像，以彌補(bǔ)光學(xué)顯微鏡分辨率的不足。利用拼接的方法來獲得完整的芯片形貌圖像。描述了壓電陶瓷電機(jī)驅(qū)動(dòng)工件臺(tái)的工作原理。該工件臺(tái)的定位誤差小于20nm，可使臨近圖像的重疊區(qū)域保持一致。介紹了使用電子束掃描控制器對(duì)電鏡掃描場進(jìn)行增益、旋轉(zhuǎn)和位移校正的方法，使獲得的芯片圖像不需旋轉(zhuǎn)即可進(jìn)行拼接，減少了后續(xù)圖像處理軟件的工作量。實(shí)驗(yàn)證明，該系統(tǒng)可以獲得亞微米級(jí)芯片的清晰圖像。