炭/炭復(fù)合材料堝幫使用壽命的影響研究

摘要：針對單晶硅拉晶過程不斷受硅化侵蝕造成炭/炭堝幫使用壽命短的問題,從炭/炭堝幫的破壞模式出發(fā),分析了堝幫在單晶硅爐熱場中受侵蝕破壞的機(jī)理。采用準(zhǔn)三維針刺法制備預(yù)制體,經(jīng)化學(xué)氣相沉積、樹脂浸漬炭化、高溫處理及熱解碳涂層處理后制成炭/炭復(fù)合材料堝幫。研究了不同密度、炭纖維含量以及涂層對炭/炭堝幫使用壽命的影響。結(jié)果表明隨著密度、環(huán)向炭纖維含量的提升,炭/炭堝幫的使用壽命明顯提升,而炭/炭堝幫表面熱解碳涂層能在一定程度上提升其使用壽命,但提升效果有限。