真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學(Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics)是一本由AVS Science and Technology Society出版的一本Materials Science-Materials Chemistry學術刊物，主要報道Materials Science-Materials Chemistry相關領域研究成果與實踐。本刊已入選來源期刊，CiteScore指數2.7，SJR指數0.328。本刊非開放獲取期刊。
1983年，《真空科學技術雜志》A和B兩種期刊在原《真空科學與技術雜志》拆分后創刊。JVSTA致力于發表關于材料、薄膜和等離子體界面和表面的原創研究報告、信件和評論文章。JVSTA發布的報告在基礎層面推進了對界面和表面的基本理解，并利用這種理解來推進各種技術應用的最新進展。
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
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| 工程技術 | 4區 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 納米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：應用 | 4區 4區 4區 | 否 | 否 |
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中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
| 學科類別 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43%
|
| 大類：Engineering 小類：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39%
|
| 大類：Engineering 小類：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39%
|
| 大類：Engineering 小類：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38%
|
| 大類：Engineering 小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37%
|
| 大類：Engineering 小類：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36%
|
CiteScore：該指標由Elsevier于2016年提出，指期刊發表的單篇文章平均被引用次數。CiteScorer的計算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的計算方法是該期刊在2019年、2020年和2021年發表的文章在2022年獲得的被引次數，除以該期刊2019年、2020年和2021發表并收錄于Scopus中的文章數量總和。
中科院分區 2區 JCR分區 Q1
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